真空断路器的优越性不仅是无油化设备，而且还表现在它具有较长的电寿命、机械寿命、开断绝缘能力大、连续开断能力强、体积小、重量轻、可频繁操作、免除火灾、运行维护少等优点，很快被电力部门运行、检修和技术人员认可。随着真空断路器的广泛应用，出现故障的情况也时有发生，那么为了预防故障就需要来定期的进行维护与检查。
　　维护与检查：
　　操作简单、使用方便、维修工作量小是真空断路器的优点之一。真空断路器的灭弧室本身是无需维修的。真空断路器只要按照要求安装和调整后便可投入运行，运行前最好对灭弧室进行一次真空度的检查。平时的维护就很简单了，只要求：
　　（１）保持真空断路器的清洁，特别应注意及时清理绝缘子、绝缘杆和其他绝缘件的灰尘；对于真空灭弧绝缘外壳上的灰尘应用洁净的干布擦拭。
　　（２）凡是活动摩擦的部位，均应保持有干净的润滑油，使操动机构动作灵活，减少机械磨损。
　　（３）磨损较为严重的零件要及时给予更换。
　　（４）所有的紧固件均应定期检查，防止松脱。
　　（５）经常观察真空灭弧室开断电流时的颜色，如有怀疑应进行真空度检查，发现真空度不满足最低工作真空度要求时，应及时更换。
　　（６）经常观察接触行程量，若与规定值偏差过大，应及时调整。接触行程量的变化就是灭弧室触头的磨损量，因此每次接触行程调整后必须进行记录，累计达到触头磨损厚度时，应更换灭弧室。灭弧室的更换必须注意要用同型号的灭弧室，用户一般不能轻易用其他型号的灭弧室代替。若要代替必须同有关专业人员商量和研究。
　　真空断路器运行过程中的全面检查和调整要视使用场合和操作频繁程度而定。对于那些操作并不频繁，具体地说，每年操作次数不超过机械寿命的五分之一，则在寿命期间内，每年至少进行一次检查。